充氮烤箱半導(dǎo)體應(yīng)用
充氮烤箱半導(dǎo)體應(yīng)用 充氮烤箱半導(dǎo)體應(yīng)用的好處
充氮烤箱是一種常用的半導(dǎo)體器件制造工藝設(shè)備，它在半導(dǎo)體器件制造過程中起到保護(hù)和改善器件性能的作用。充氮烤箱的主要原理是通過在烤箱內(nèi)充入氮氣，將氧氣排除，從而減少氧化反應(yīng)對器件的影響。在半導(dǎo)體器件制造的過程中，氮氣的充入可以有效地保護(hù)器件表面，防止氧化反應(yīng)的發(fā)生，提高器件的質(zhì)量和性能。
充氮烤箱在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用主要有以下幾個方面：
1. 氧化反應(yīng)控制：充氮烤箱可以在器件制造過程中控制氧化反應(yīng)的程度和速率，從而實現(xiàn)對氧化層的控制，保證器件的質(zhì)量和性能。
2. 氮氣保護(hù)：充氮烤箱可以在烘烤和退火過程中提供氮氣環(huán)境，避免氧化反應(yīng)的發(fā)生，防止器件表面被氧化，保護(hù)器件的性能。
3. 清潔作用：氮氣具有較高的純凈度，可以在烤箱內(nèi)形成凈化的環(huán)境，有效地減少雜質(zhì)的污染，保證器件表面的潔凈度。
4. 去除氣體殘留：充氮烤箱中的氮氣可以迅速將烤箱內(nèi)的氣體殘留物吹散，減少對器件質(zhì)量的影響。
總之，充氮烤箱在半導(dǎo)體器件制造過程中具有重要的應(yīng)用價值，可以提高器件的質(zhì)量和性能，保證器件制造的可靠性。 一、設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域：
充氮烤箱也稱惰性氣氛保護(hù)烤箱應(yīng)用于半導(dǎo)體、芯片、新能源電池、光伏組件、LED光電、精密金屬、醫(yī)療器材、汽車零部件、通訊設(shè)備、化工等工業(yè)之烘烤、干燥預(yù)熱回火、老化等用途。該工業(yè)充氮烘烤箱是一種新型可營造無氧潔凈恒溫環(huán)境的電熱鼓風(fēng)干燥箱，在加溫工作的同時充入氮氣，適用高溫易氧化產(chǎn)品的烘烤加熱。
二、設(shè)備特點：
1) 外采用SECC鋼板、精粉體烤漆處理；內(nèi)采用SUS不銹鋼；
2) 全新耐高溫長軸馬達(dá)；
3) 渦輪風(fēng)扇；
4) 硅膠迫緊（Sillcon packing）；
5) 超溫保護(hù)：超負(fù)載自動斷電系統(tǒng)；
6) 循環(huán)系統(tǒng)：強制水平送風(fēng)循環(huán)；
7) 加熱系統(tǒng)：PID+S.S.R；
8) 溫控器：PID微電腦控制，全自動恒溫，溫度迅速補償功能；
9) 計時器：溫到計時，時到斷電報警指示；
10) 充氮裝置：氣體減壓閥，惰性氣體流量控制，通入流出箱內(nèi)管道。
三、主要技術(shù)參數(shù)：
72L： 450×400×400（mm）
RT+10℃～200℃ HE-N2-72II
RT+15℃～300℃ HE-N2-72III
RT+50℃～400℃ HE-N2-72IV
100℃～500℃ HE-N2-72V
125L： 500×500×500（mm）
RT+10℃～200℃ HE-N2-125II
RT+15℃～300℃ HE-N2-125III
RT+50℃～400℃ HE-N2-125IV
100℃～500℃ HE-N2-125V
150L： 500×500×600（mm）
RT+10℃～200℃ HE-N2-150II
RT+15℃～300℃ HE-N2-150III
RT+50℃～400℃ HE-N2-150IV
100℃～500℃ HE-N2-150V
216L： 600×600×600（mm）
RT+10℃～200℃ HE-N2-216II
RT+15℃～300℃ HE-N2-216III
RT+50℃～400℃ HE-N2-216IV
100℃～500℃ HE-N2-216V
控制精度： ±0.5℃（恒定時）
顯示精度： 0.1℃
溫度波動度： ±1.0℃（恒定時）
控制方式： 按鍵式控制或PLC程式觸摸屏控制
氮氣流量： 10L/min~60L/min
送風(fēng)方式： 內(nèi)部熱風(fēng)循環(huán)
玻璃視窗： 300℃以上機型無視窗
隔層架： 標(biāo)配2個
使用電源： AC單相 三線 220V 50/60HZ 或 AC三相 五線 380V 50/60HZ
保護(hù)裝置： 超溫保護(hù)、缺相保護(hù)、接地保護(hù)、過載保護(hù)、快速保險、斷路開關(guān)等
充氮烤箱在半導(dǎo)體器件制造中的應(yīng)用有許多好處，包括：1. 氧化反應(yīng)控制：充氮烤箱可以控制氧化反應(yīng)的程度和速率，從而實現(xiàn)對氧化層的控制。這對于制造器件的質(zhì)量和性能至關(guān)重要。
2. 氮氣保護(hù)：充氮烤箱提供氮氣環(huán)境，避免氧化反應(yīng)的發(fā)生，保護(hù)器件表面免受氧化的影響。這有助于提高器件的可靠性和長期穩(wěn)定性。
3. 清潔作用：充氮烤箱中的氮氣具有較高的純凈度，可以形成凈化的環(huán)境。這有助于減少雜質(zhì)的污染，保證器件表面的潔凈度。
4. 熱量均勻分布：充氮烤箱能夠提供均勻的熱量分布，保證器件在烘烤和退火過程中的均勻加熱。這有助于避免熱應(yīng)力和溫度梯度對器件的影響。
5. 去除氣體殘留：充氮烤箱中的氮氣可以快速將烤箱內(nèi)的氣體殘留物吹散，減少對器件質(zhì)量的影響。
綜上所述，充氮烤箱在半導(dǎo)體器件制造中的應(yīng)用有助于提高器件的質(zhì)量和性能，保證制造過程的可靠性，并且有利于減少污染和熱應(yīng)力對器件的影響。
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